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氮化钽薄膜压力传感器研究
2023-12-02
一、引言氮化钽薄膜是一种优良的压阻材料,其结构相对复杂,目前已知的相有11种之多[1-3]。氮化钽具有高稳定性,较低电阻温度系数、适中应变因子、优良耐磨性等优点,是一种广泛应用用途航空航天、微电子
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氮化钽薄膜换能元低能化研究
2023-11-25
MEMS火工品具有结构微型化、换能信息化和序列集成化等特征,是新一代火工品的重要发展方向。微结构换能元作为MEMS火工品的核心部分,决定了MEMS火工品的发火性能、安全性和可靠性,进而影响武
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